金融界2024年10月31日音讯，国家知识产权局信息数据显现，姑苏矩阵光电有限公司请求一项名为“热控分区腐蚀晶圆的设备及办法”的专利，揭露号CN 118841350 A，请求日期为2024年9月。

  专利摘要显现，本发明供给一种热控分区腐蚀晶圆的设备及办法，设备包含阻隔网筒和温控腐蚀体系；阻隔网筒包含筒壁和阻隔网壁，阻隔网筒用于套设于晶圆外围，阻隔网壁用于将晶圆外表分隔成多个彼此独立的腐蚀区域，并与晶圆外表具有距离以构成非触摸气隙，根据液体外表张力使得腐蚀液不会进入到与该腐蚀区域相邻的另一个腐蚀区域；温控腐蚀体系包含温度控制器、加热驱动器、加热单元与腐蚀液管路。本发明的热控分区腐蚀晶圆的设备设备结构相对比较简单，且易于操作，用于晶圆外表处理具有高效，低成本的优势。

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